Ein wichtiger Teilbereich der Mikrosystemtechnik ist die Mikroverfahrenstechnik, die sich allgemein mit physikalischen und/oder chemischen Prozessen beschäftigt, die in mikrostrukturierten Apparaten ablaufen. Ein wesentlicher Vorteil verglichen mit konventionellen Batch-Systemen besteht in der kontinuierlichen Betriebsweise. Diese wird durch sehr schnelles Vermischen der Komponenten und einen effektiven Wärmetausch ermöglicht. Durch die damit verbundenen sehr kurzen Verweilzeiten im Reaktor kann eine effiziente Prozesskontrolle sowie eine hohe Betriebssicherheit gewährleistet werden.

IoLiTec befasst sich in diesem Zusammenhang mit der chemischen Mikroverfahrenstechnik zur Herstellung seiner eigenen Produkte. Im Gegensatz zu vielen bereits am Markt erhältlichen „Lab-on-a-Chip“-Systemen, deren Einsatzgebiet vornehmlich im Bereich der Wirkstoffforschung und –suche liegen, wird die in dem vom Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF) geförderten Projekt NEMESIS („Neuartige Mikroreaktor-systeme für die innovative Synthese ionischer Flüssigkeiten“) als Prototyp entwickelte Anlage von IoLiTec zur Produktion von ionischen Flüssigkeiten genutzt.